电容式压力-变送器
电容式压力变送器通过检测中心测量膜片与两侧测量室壁之间的电容变化来判别膜片受压位移状况。扩散硅压力变送器有两类，其中一类是将扩散硅电桥植入到检测中心测量膜片上来判别膜片受压位移状况。以上两种由于是直接测量中心测量膜片（被测压力直接作用处）的位移。且测量膜片可以加上巨大的预应张力，使得金属膜片位移所导致的应力影响极小。所以精度较高。另一种扩散硅压力变送器是将测量膜片感受的力传导到一个扩散硅传感器，通过扩散硅传感器的输出来得出被测压力。由于压力不是作用在传感器上而是加了一次传递，所以相对精度低一些，且扩散硅元件品质不一（多数变送器厂家不是自己生产扩散硅元件）导致质量差别很大。
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电容式压力变送器被测介质的两种压力通入高、低两个压力室，作用在δ元件(即敏感元件)的两侧隔离膜片上，通过隔离片和元件内的填充液传送到测量膜片两侧。电容式压力变送器是由测量膜片与两侧绝缘片上的电极各组成一个电容器。 当两侧压力不一致时，致使测量膜片产生位移，其位移量和压力差成正比，故两侧电容量就不等，通过振荡和解调环节，转换成与压力成正比的信号。电容式压力变送器和电容式绝对压力变送器的工作原理和差压变送器相同，所不同的是低压室压力是大气压或真空。电容式压力变送器的A/D转换器将解调器的电流转换成数字信号，其值被微处理器用来判定输入压力值。微处理器控制变送器的工作。另外，它进行传感器线性化。重置测量范围。
